Продукти

Продукти:

  • микроелектромеханични системи(МЕМС) с интегрирани задвижващи механизми и отчитане на пиезо-съпротивление
  • микроелектромеханични системи(МЕМС) за точно определени приложения
  • Устройства с micro-hotplates